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集成電路的制造過程
閱讀：508 發布時間：2021-9-9
集成電路的制造過程主要以晶圓為基本材料，經過表面氧化膜的形成和感光劑的涂布后，結合光罩進行曝光、顯像，使晶圓上形成各類型的電路，再經蝕刻、光阻液的去除及不純物的添加后，進行金屬蒸發，使各元件的線路及電極得以形成，后進行晶圓探針檢測;然后切割成芯片，再經粘著、連線及包裝等組配工程而成電子產品。各主要制程單元概述如下：
氧化與模附著
原料晶圓在投入制程前，本身表面涂有2μm厚的AI2O3，與甘油混合溶液保護之，晶圓的表面及角落的污損區域則藉化學蝕刻去除。
為制成不同的元件及集成電路，在芯片長上不同的薄層，這些薄層可分為四類:熱氧化物，介質層，硅晶聚合物及金屬層。熱氧化物中重要的薄層有閘極氧化層(gate oxide;與場氧化層(field oxide)，此二層均由熱氧化程序制造。