X射線熒光（“XRF"）是已用于包括礦物的各種樣品的元素分析的技術。XRF分析器 通過用X射線照射樣品上的一個點并測量由該樣品中不同元素所發射的特征X射線的光譜 來確定該樣品的化學性質。X射線的主要來源可以是X射線管或放射性材料如放射性同位 素。如在此所使用的術語“X射線"包括在約IkeV與約150keV之間能量的光子，并因此將包 括：由已激勵原子在其去激勵時發射的特征X射線；當電子由原子散射時發射的韌致輻射X 射線;分別地一般稱為瑞利(Rayleigh)和康普頓(Compton)散射福射的彈性地和非彈性地 散射的光子。
當暴露于來自射線源的高能初級X射線時，在一種樣品中存在的每種原子元素產 生實質上是該特定元素的指紋的一組特征熒光X射線。X射線熒光分析器通過用X射線照射樣品上的一個點并測量由該樣品中各種元素所發射的特征X射線的光譜來確定該樣 品的化學性質。X射線的主要來源可以是X射線管或放射性材料如放射性同位素。在原子等 級上，當充足能量的光子擊中該樣品中的原子時，將電子逐出原子的一個內軌道層時產生特征熒光X射線。該原子然后幾乎立即恢復穩定性，用來自該原子的一個較高能量(外層)軌 道層中的電子填充在內軌道層中留下的空位。過多能量能夠以熒光X射線的形式被釋放，即以表征原子的兩個量子態之間的差異的能量形式。通過誘導和測量由該樣品中不同元素所 發射的寬范圍的不同的特征熒光X射線，XRF分析器能夠確定在該樣品中存在的元素，并基 于在具體能量發生的熒光X射線的數目計算其相對濃度。然而，除了在特殊情況下，用便攜式XRF分析器典型地都無法直接測量低濃度的輕元素（lightelements)(原子序數較低的 那些元素，Z典型低于20)，因為能量低于約2.5千電子伏特(keV)的熒光X射線在短的空氣路徑長度內被吸收。因此，輕元素XRF分析要求氦氣吹掃或真空檢測環境，這對便攜式或手持式儀器可能是不方便的。而臺式XRF光譜儀EDX9000A配備的真空系統，配合特別設計的光路，能很好實現對輕元素的檢測。這對于礦產，比如鋁土礦或者一些高硅高鋁樣品的檢測，顯得尤為重要。
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