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1.極低的蒸氣壓
這是真空干燥箱真空泵油的zui重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
　　2.合適的粘度和良好的粘溫特性
　　真空干燥箱真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。
　　3.良好的熱氧化安定性
　　真空干燥箱真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。
　　4.良好的抗腐蝕性和抗乳化性
　　真空干燥箱真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
　　5.較高的閃點
　　主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
　　6.較低的極限壓力
　　極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在zui低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。