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INHA-數字氣體流量計選型
基于多年的經驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
產品簡介
詳細介紹
INHA-數字氣體流量計選型介紹：
氣體質量流量計MFM ,即Mass FIow Meter (縮寫為MFM) ,是一個可以測量不同氣體流量的裝置,能在較寬的量程范圍內快速而精確的測量氣體流量。
INHA-數字氣體流量計選型特征：
全數字架構
更快的響應速度
準確度高
精確的流量測量
寬壓力范圍
優良的耐腐蝕性
出色的線性度
新型傳感制作工藝
| 氣體質量流量計MF-200DM | ||
| ?三維尺寸圖 | ||
| ?特征 | ||
| -全數字架構 | ||
| -更快的理應速度 | ||
| -準確度高 | ||
| -精確的流量測量 | ||
| -寬壓力范圍 | ||
| -優良的耐腐蝕性 | ||
| -出色的線性度 | ||
| -新型傳感制作工藝 | ||
| 單位：mm | ||
| MT O ZBK> O | 寸 | |
| § | ||
| 30.50 | ||
| 56 | ||
| mm | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 200D Series | ||
| l/8"Lok | ||
| l/4"Lok | ||
| 3/8"Lok | ||
| l/2MLok | ||
| 1/4"VCR | ||
| 1/2"VCR | ||
| 122.7 | ||
| 127.3 | ||
| 130.4 | ||
| 134.4 | ||
| 123.8 | ||
| 131.4 | ||
| FLOW ■ | ||
| MF-200DM | ||
| 5SCCM-50SLM | ||
| 2%~100% of Full Scale | ||
| <±1.0% of Full Scale | ||
| <±0.2% of Full Scale | ||
| <±0.2% of Full Scale | ||
| <1 sec | ||
| o~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) | ||
| 0-100 Bar(g) | ||
| 1x10-9 atm. cc/sec He | ||
| + 14Vdc~27Vdc/300mA | ||
| 0-5V or 4-20mA/Rs485 (Modbus Rtu) | ||
| Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm | ||
| X | ||
| D-Sub 9 Pin Connector Male | ||
| 1/4" , l/8n , 3/8"l/2nLOK , l/4n , 1/2"VCR | ||
| Digital Type | ||
| SUS 316L | ||
| 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | ||
| ?電氣連接 | ||
| 電氣連接方式 | I 數字型（模擬信號兼容） | |
| 編號 | 功能 | MF-200DM |
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 14V-+27V 電源 | • |
| 3 | Rs-485 B(-) | • |
| 4 | 信號公共端 | • |
| 5 | 空 | X |
| 6 | 信號輸出 | • |
| 7 | 電源公共端 | • |
| 8 | 空 | X |
| 9 | Rs-485 A(+) | • |
| MASS FLOW CONTROLLER | ||