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不同工藝進程的電池芯片掃描電鏡圖像

綜述：

太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽光直接發電的光電半導體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產生電流。在物理學上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進行觀測，從而控制電池質量。

儀器介紹：  

EM科特掃描電鏡，根據樣品倉大小或拓展分析附件能力，分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。

試驗方法：

取不同工藝進程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察。快速觀察模式，照相時間 10s

結論：

EM科特掃描電鏡，可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片，無損檢測。

1、晶圓制絨結構掃描電鏡圖像

2、晶圓表面Saw damage etching

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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