質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一種通過測量和控制氣體質量流量來實現精密控制的設備。其核心功能是確保氣體在工業過程、科研實驗或環境監測中以預設的流量穩定傳輸。根據原理不同，MFC主要分為熱式、差壓式和層流壓差式等類型。其中，層流壓差式MFC因高精度、寬量程和快速響應等優勢，在半導體制造、生物制藥等領域占據重要地位。
層流壓差式原理
層流壓差式MFC基于流體力學中的哈根-泊肅葉定律，通過測量層流狀態下的壓差信號計算流量，并結合溫度、壓力補償實現精準控制。
層流生成：流體通過層流元件（如蜂窩狀微通道）時，湍流被整流為層流狀態，確保流速與壓差呈線性關系。
壓差測量：壓差傳感器實時檢測層流元件兩端的壓力差，結合流體黏度參數，通過泊肅葉方程計算體積流量。
參數補償：內置溫度、壓力傳感器對氣體密度進行動態修正，將工況流量轉換為標準質量流量。
易度智能層流壓差式MFC的技術創新
多參數集成：同時監測溫度、壓力工況流量、標況流量、累計流量等，通過觸摸屏實時顯示控制數據，支持各種通訊方式遠程控制。
寬量程覆蓋：量程范圍從0.1 sccm至20000 slpm，適應微小流量到高流速場景。
多氣體兼容：內置70余種氣體數據庫，無需轉換系數即可適配多種氣體。
其他原理簡述
熱式原理：通過加熱元件感知流體帶走的熱量差異計算流量，但需預熱（5-30分鐘）且依賴氣體熱特性參數，成本較高。
傳統差壓式：基于節流元件（如文丘里管）產生壓差，但受湍流影響大，精度較低。
易度智能層流壓差式MFC的核心優勢
作為國內shou家通過層流壓差式CPA認證的企業，易度智能的MFC在以下方面表現突出
高精度與穩定性
測量誤差低至±0.5%讀數，重復性±0.1%，滿足半導體工藝對納米級流量波動的嚴苛要求
環境適應性
支持-50℃至110℃介質溫度及0-3 MPa壓力范圍，適應高溫爐、真空鍍膜等工況。
易度智能層流壓差式MFC已廣泛應用于：
半導體制造：精確控制CVD（化學氣相沉積）中的反應氣體流量，確保薄膜均勻性。
生物制藥：調節發酵工藝中的氧氣與培養基流量，提升產物純度。
環保監測：實時監測工業廢氣排放，助力碳中和目標實現。
層流壓差式質量流量控制器憑借其物理原理的普適性與技術升級的靈活性，成為高精度流量控制的核心設備。易度智能通過自主研發，打破了國外技術壟斷，為國內半導體制造提供了可靠的國產化解決方案。
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