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日本NEWCOSMOS新宇宙PS-7泵吸式半導體氣體檢測器參數

閱讀:745        發布時間:2023-9-15

日本NEWCOSMOS新宇宙PS-7泵吸式半導體氣體檢測器參數

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一、產品特點

●  通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器

●  傳感器經過校準和交付,無需現場氣體校準。此外,無需工具即可輕松更換傳感器

●  小巧·輕便的設計

●  通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度,報警狀態和錯誤信息

●  采樣流量的自動控制功能

●  當插入與設置不同的傳感器時,傳感器具有防止錯誤插入的功能

●  通過連接PDA,可以獲取存儲在檢測單元中的數據

●  轉換器單元(選件)可用于檢測NF3和CCl2。

●  符合CE標準

●  符合SEMI標準

二、產品參數

型號

PS-7

類型

標準型

附帶轉換器組件型

檢測原理

定電位電解式、熱絲型半導體式、隔膜電流電池式

熱分解+定電位電解式

采樣方式

泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自動控制)

采樣配管

特氟隆外徑6內徑4mm、配管距離在20m以內

氣體濃度顯示

液晶數字四位顯示(附帶單位)20分割條形圖

報警接點

•氣體報警(1段以及二級) 報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示
•流量降低報警 堵塞指示顯示:流量顯示為低速運轉 報警:黃色LED指示燈閃爍 :液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉狀態
•傳感器故障報警/傳感器誤插入報警 報警:黃色LED指示燈閃爍 :液晶畫面 SENS.顯示 •熱分解爐斷線報警 報警:黃色LED指示燈閃爍 :液晶畫面 CONV.顯示

外部輸出

氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA(與電源的負極通用) 氣體報警接點(1段以及兩極) 1a無電壓接點/自動復位 故障報警接點 (開路集電極/自動復位)

適合電纜線

控制用屏幕電纜線(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯  

使用溫度濕度范圍

0℃~40℃(但是不能有劇烈的溫度變化)、30~85%RH(但不能結露)

使用電源

DC24V±10%

消耗電力

7w

10w

尺寸

•W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物)

重量

1.0kg

氣體一覽表

型號

氣體

F.S

型號

氣體

F.S

型號

氣體

F.S

PS-7NH

NH3

100ppm

PS-7GH

GeH4

1ppm

PS-7HS

H2S

50ppm

PS-7SH

SiH4

25ppm

PS-7CL

CL2

5ppm

PS-7CO

CO

250ppm

PS-7DC

SiHCL3

25ppm

PS-7CF

CLF3

1ppm

PS-7DS

Si2H6

25ppm

PS-7AS

AsH3

250ppb

PS-7HC

HCL

25ppm

PS-7F2

F2

5ppm

PS-7PH

PH3

1ppm

PS-7HF

HF

1ppm

PS-7OZ

O3

1ppm

PS-7BH

B2H6

500ppb

PS-7HF

BF3

1PPM

PS-7NO

NO

100ppm

PS-7SE

H2Se

250ppb

PS-7HB

HBr

10ppm






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