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綜合型探針臺(tái)
DH系列探針臺(tái)是一款配置綜合型手動(dòng)測(cè)試探針臺(tái), 該系列探針臺(tái)設(shè)備配置豐富，基本可以滿足一般實(shí)驗(yàn)室的全部測(cè)試要求。其樣品臺(tái)可以360度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率。并且具備三段式針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。這樣就使的此設(shè)備在使用探針卡測(cè)試的時(shí)候非常方便。 此設(shè)備一般適用于大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
綜合型探針臺(tái)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
卡盤可 360 度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率
大手柄微分頭驅(qū)動(dòng)，省時(shí)，省力，省心
三段式可升降探針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離
綜合型探針臺(tái)主要參數(shù)：
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào) | DH-6 | DH-8 | DH-12 | |
探針臺(tái)本體 | 整機(jī)尺寸（mm） | 700mmL*700mmW*720mmH | 750mmL*750mmW*720mmH | 880mmL*880mmW*720mmH |
重量 | 75kg | 95kg | 150kg | |
卡盤大小 | 6" ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng), 可微調(diào) | 8" ，360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ， 可微調(diào) | 12",360 度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤行程和精度 | 6"*6" ， 精度 10um | 8"*8" ， 精度 10um | 12"*12" ， 精度 10um | |
卡盤氣浮移動(dòng)范圍 | 360度快速移動(dòng)，便于快速定位，提高測(cè)試效率 | |||
卡盤升降功能 | Chuck可以上下快速升降 5mm 和微調(diào)升降 5mm ，精度 1 微米(使用探針卡的時(shí)候使用) | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 （適用于薄片） | |||
背電極測(cè)試功能 | 具備 ， 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口 | |||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U 型平臺(tái) ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力 | ||
大小 | 最多可放置6個(gè)探針座 | 最多可放置8個(gè)探針座 | 最多可放置12個(gè)探針座 | |
三段式升降平臺(tái) | 探針平臺(tái)可以快速升降 ， 擁有 3mm 和 300um 兩檔 ， 探針平臺(tái)可以上下微調(diào) ， 行程 25mm ， 升降精度 1µm。(使用探針卡的時(shí)候使用) | |||
顯示系統(tǒng) | 顯微鏡成像系統(tǒng) | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu) ， XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | |||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬(wàn)/500 萬(wàn)像素 ， 幀率 60fps，帶拍照、 錄像、 測(cè)量功能 | |||
探針座 | 種類 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
機(jī)械精度 | 0.35um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
綜合型探針臺(tái)部分圖片：
