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超低溫磁場探針臺半自動(dòng)真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統(tǒng))、4.5K(dualCCR系統(tǒng))甚至低于4K(tripleCCR系統(tǒng))的情...
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