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TS3000 Probe System 半自動300mm探針臺測試系統
? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
? 高溫度范圍-60°C至300°C
? 大的靈活性
? 具有特定設計的電纜接口的與功能測試儀的小電纜距離，可實現更好的測量方向性
? 小的卡盤到工作臺面高度可實現佳mmW和內部節點探測
? 通過在內部集成熱系統的冷卻器，將系統占地面積降至低
結合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內對300mm的晶片進行微型定位器和（或）探針卡測試，并具有在膠片框架上進行探測的附加功能。
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