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當前位置：> 供求商機> 日本 Certas Leaga 化學(xué)氣體刻蝕系統(tǒng)
化學(xué)氣體刻蝕系統(tǒng) Certas Leaga
Certas LEAGA是一種率的系統(tǒng)，除了Certas WING的基本性能之外，還可以滿足單個平臺上的多個流程需求。針對當前和下一代設(shè)備的大量生產(chǎn)，LEAGA具有易于配置的主機，可以進行優(yōu)化，以匹配所需的應(yīng)用程序。擴展了Certas系列的工藝技術(shù)，現(xiàn)在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性，從非選擇性到高度選擇性，為從大批量生產(chǎn)到下一個廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵接口提供控制一代發(fā)展。
特征
的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜
集群雙晶圓腔室設(shè)計提供靈活的模塊配置
應(yīng)用
二氧化硅膜去除和回蝕
在硅接觸之前進行預(yù)清潔
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