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高分辨率 光學 膜厚測量 FR-pRo 測厚儀

干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所的。

FR-pRo是模塊化和可擴展的測量儀器系列，可根據客戶需求量身定制，并且能夠通過標準的吸光度/透射率和反射率測量，以及在溫度和環境受控環境下進行薄膜表征，在各種不同的應用中使用。

應用領域：
1、半導體晶片
2、液晶產品（CS,LGP,BIU）
3、微機電系統
4、光纖產品
5、數據存儲盤（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物醫學工程

產品特點：

1 、非接觸式測量：避免物件受損。
2 、可測多層薄膜厚度，厚度范圍：1nm-3mm。

3、光譜：200-2500nm。
4 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
5、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。
6、高速數字信號處理器：實現測量僅需幾秒鐘。
7 、掃描儀：閉環控制系統。
8、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
9 、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算