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MARSURF M300技術參數
MARSURF M300工作原理 觸針法
MARSURF M300移動速度 0.5mm/s
MARSURF M300測量范圍 350um(0.014in)
輪廓分辨率 90um,180um,350um(自動轉換)
8nm,16nm,32nm(自動轉換)
過濾器類型 Gau -Filter,Ls-Filter
移動長度依據DIN/ISO 1.75/5.6/17.5mm
(0.07/0.22/0.70in)
依據ENISO 12085 1/2/4/8/16mm
評估長度 1.25/4/12.5mm
(0.05/0.16/0.5in)
取樣長度段數 1-5可選
標準 DIN/ISO/JIS/ASME
測量參數 DIN/ISO：Ra,Rq,Rz,Rmax,RP,RPk,Rk,Rvk,RV
JIS:Ra,RZ,RzJIS,S
ASME:Rp,Rpm
MOTIF:R,Ar,Rx,W,CR,CL,CF
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