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美國(guó)愛(ài)佩儀6D激光干涉儀

美國(guó)愛(ài)佩儀6D激光干涉儀

API激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

5D/6DAPI激光干涉儀標(biāo)準(zhǔn)型：

1. 愛(ài)佩儀激光干涉儀線性：0.5ppm

2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

4. 大范圍：800角秒

5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

7. 大范圍：500um

8. 垂直度精度：1角秒

9. 溫度：0.2攝氏度

10.濕度：5%

11.壓力：1mmHg

5D/6DAPI激光干涉儀精密型：

1. 線性：0.2ppm

2. 測(cè)量范圍：25米

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值

4. 大范圍：400角秒

5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒

6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值

7. 大范圍：300um

8. 垂直度精度：0.5角秒

9. 溫度：0.1攝氏度

10.濕度：3%

11.壓力：0.3mmHg

5D/6DAPI激光干涉儀高精密型：

1. 線性：0.2ppm

2. 測(cè)量范圍：根據(jù)用戶要求而定

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒

4. 大范圍：500角秒

5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒

6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um

7. 大范圍：100um

8. 垂直度精度：0.5角秒

9. 溫度：0.1攝氏度

10.濕度：3%

11.壓力：0.3mmHg