Pinnacle直流電源平臺(tái)具有優(yōu)秀的工藝一致性和控制功能，從而大大減少了工藝變化，提高了產(chǎn)量。利用精確、可重復(fù)的功率和優(yōu)勢(shì)、低輸送電弧能量，生產(chǎn)優(yōu)良的薄膜，實(shí)現(xiàn)工藝效率的優(yōu)化，電源采用主/從配置的可靠、緊湊型風(fēng)冷設(shè)計(jì)。

AE 直流磁控電源 Pinnacle 20K DC電源突出的工藝穩(wěn)定性和控制能力，可有效的減少差異和提高良品率。緊湊的外形集合了多種功能，包括優(yōu)秀的電弧管理、產(chǎn)生低儲(chǔ)存能量、快速電弧響應(yīng)以及較寬的全功率運(yùn)行阻抗范圍。

技術(shù)參數(shù)

Power

Single Output ：6，10，12 or 20KW

Dual Output    ：6/6 and 10/10 KW，independently controlled

Voltage

Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)

Repeatability

+/- 0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, 440, and 480 VAC

AE 直流磁控電源 Pinnacle 20K DC電源

優(yōu)點(diǎn)

1.降低運(yùn)作和安裝成本；

2.實(shí)現(xiàn)快速電弧響應(yīng)；

3.配置電弧響應(yīng)；

4.優(yōu)化工藝效率；

5.精密的控制工藝。

特點(diǎn)

1.低儲(chǔ)存能量 — 每 1 kW 輸出小于 1 mJ；

2.無抽頭；

3.輸出可重復(fù)性為 ±0.1%；

4.目標(biāo)調(diào)節(jié)周期 (TCC) — 將新靶標(biāo)的調(diào)節(jié)時(shí)間縮短；

5.焦耳模式 — 優(yōu)化能量供應(yīng)。