MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 Paragon F* 8SLM RPS 設(shè)計(jì)結(jié)合了專(zhuān)有的等離子塊設(shè)計(jì)和等離子電解氧化涂層，可實(shí)現(xiàn)低顆粒、長(zhǎng)壽命，從而降低擁有成本。

優(yōu)點(diǎn)：

1.高達(dá)8SLM NF流量，緊湊的尺寸可實(shí)現(xiàn)更快的清潔時(shí)間

2.優(yōu)秀的解離性（＞95%），可實(shí)現(xiàn)高效、均勻的清潔效果

3.EtherCAT智能數(shù)據(jù)報(bào)告可實(shí)現(xiàn)更快、更緊密的設(shè)備操作

4.兼容O₂和NF₃混合氣體

5.專(zhuān)有的PEO等離子塊設(shè)計(jì)提供更高的工藝性能

特征：

模擬或 EtherCAT 控制：Paragon 遠(yuǎn)程等離子源提供模擬和 EtherCAT通信端口。EtherCAT 可用于直接控制 Paragon，或與模擬端口結(jié)合，僅作為數(shù)據(jù)監(jiān)控端口。Paragon 將智能數(shù)據(jù)集流式傳輸?shù)焦ぞ呋蚓A廠數(shù)據(jù)庫(kù)，以監(jiān)控或修改操作參數(shù)，以保持工藝工具以高效率運(yùn)行并支持診斷（APC、FDC）應(yīng)用程序。

MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 Paragon F* 8SLM RPS 規(guī)格

設(shè)備類(lèi)型：AX7700MTS-01 遠(yuǎn)程等離子源

點(diǎn)火時(shí)供氣：氬氣僅用于點(diǎn)火

點(diǎn)火后供氣：高達(dá)8SLM的NF₃

NF₃操作反應(yīng)物輸出：＞95%跨操作空間解離，1-10T，1-8SLM

O₂和NF₃混合操作反應(yīng)物輸出：＞95%跨操作空間解離，1-10T，1-8SLM

工藝氣體進(jìn)排氣：入口氣體連接KF40，出口氣體連接KF50

占空比：最少2秒準(zhǔn)時(shí)達(dá)到峰值（處理時(shí)間＞45分鐘）

氣體流量：點(diǎn)火期間：1-8Torr，氬氣1-5SLM；點(diǎn)火后：1-10Torr，NF₃氣體1-8SLM

接液材料：PEO涂層、6061-T6鋁、Chemraz、氧化鋁

工作環(huán)境：環(huán)境空氣≤40℃

需要冷卻水：2加侖/分鐘，＜30℃

控制接口：EtherCAT和模擬量I/O25針D

電流要求：208VAC，50/60Hz，35A，三相

大小：18.40 x 9.50 x 10.50 inches (467 x 241 x 267 mm)

重量：24.5公斤（54磅）