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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>COMDEL>> CLF-5000COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | FP1541RC |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | CLF-5000 | M/N | FP1541RC |
| P/N | 27-049867-00 | 頻率 | 450KHz |
| 輸出功率 | 5000W | 設備狀態 | Refurblished |
COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W RF GENERATOR 射頻發生器是一款穩定、可靠的低頻射頻電源。CLF Series 是為滿足半導體加工用 RF驅動等離子體系統的性能要求而設計的。應用范圍包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業系統中的感應和介質加熱過程。
CLF Series 射頻電源運作過程中可提供高達5KW的穩定的輸出功率。半機架支撐工作時在 20KHz~50KHz 的任何固定頻率。全機架支撐工作時，可以在 20KHz~450KHz 的任何固定頻率，或自動調諧到±15帶寬。在許多應用中，自動調節和多余功率凈空的結合將使電力輸送到不斷變化的無功負載，而不需要機械調節匹配網絡。
COMDEL 低頻射頻電源 CLF Series 特點
1.CLF Series 為低頻射頻電源
2.設備穩定、可靠、低功率
3.用于工業加熱和等離子體
COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W 規格
AC輸入：3，PE，208 VAC，50/60Hz，25A
射頻輸出：400 KHz，700 Vpk，50 Ohm
水冷進水需求：Min 水流 11L/min，Max 水壓414 kPa（60 psi），Max 水溫25℃
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