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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>ULVAC RFS Series>> ULVAC RFS-1350LHULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | WX6929 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | RFS-1350LH | L/N | WX6929 |
| 頻率 | 13.56MHz | 輸出功率 | 5000W |
| 設備狀態 | Refurblished |
ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 射頻發生器通過采用高效率的射頻放大器，使設備整體結構緊湊，重量輕，自帶自動匹配控制器功能，功率控制和匹配系統控制可與主機單獨進行。主要應用領域包括濺射和化學汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。
ULVAC射頻電源 RFS Series 特點
功率范圍：0.5kW ~ 5kW
采用高效放大器：通過具有良好的功率轉換效率的射頻電路結構，節約能源
高速自動匹配：用高速算法實現高速自動匹配
射頻功率發生器內部配備了自動匹配功能：與發電機組本身匹配的系統控制是可能的，還能手動操作射頻功率發生器和匹配箱，配合內部控制器操作
支持靈活的控制配置：可對外進行模擬和串行通信控制
高可靠性：設計中結合了多年的設備制造經驗
ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 規格
AC 輸入：AC200V~220V，3 phase，50/60Hz
輸入功率/電流：≤8 kva / ≤30 A
RF 輸出：5000W，13.56MHz，50 Ohm
Max反射波功率：500W
控制精度：額定輸出±2%以下
散熱設計：水冷散熱
水冷進水需求：6L/min
尺寸大小：480 * 500 * 150 mm
設備重量：23kg
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