MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 是一款高濃度、高流量的臭氧發生器，通過無聲放電將純氧轉化為臭氧，實現高輸出和高濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮氣，遠遠低于其他臭氧發生器所需的氮氣水平，因此最終產生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 參數規格

類型：臭氧氣體發生器

臭氧輸出：335g/Nm³

流量：5~40slm

原料氣：6級或是更好的氧氣；100~1000ppm 5級或更好的氮氣

額定腔室壓力：15~45psig（100~310kPa）

壓力：20~30psig

水冷溫度：5~25℃

水冷過濾：100微米

水冷水質：電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：7.6L/min MIN

AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，15A，50/60Hz

設備重量：50kg（130LB）

尺寸規格：483 * 445 * 267 mm

MKS ASTeX AX8407 特征

1.臭氧濃度在 5°C 時高達 335 g/Nm³ 或 21.7 wt%

2.5slm ~ 40slm的 O₂ 流量可實現工藝靈活性

3.優秀的腔室結構設計可產生高濃度臭氧

4.閉環操作可實現更嚴格的過程控制