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江蘇神州半導體科技有限公司

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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>AE Paramount Series>> AE Paramount MF 15002AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW

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產品型號AE Paramount MF 15002

品牌

廠商性質經銷商

所在地揚州市

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更新時間：2023-11-24 11:12:11瀏覽次數：1141次

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產品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

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產品簡介

供貨周期	現貨	貨號	31550302-064
應用領域	電子/電池,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	AE	型號	Paramount?MF?15002
M/N	31550302-064	P/M	660-144976-004-H
頻率	1.8-2.17MHz	輸出功率	15KW
設備狀態	Refurbished

AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是經過長期現場驗證的具有優良性能和輸出穩定性的射頻發生器。

詳情介紹

AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是經過現場長期驗證的具有穩定輸出能力和控制能力的高性能射頻電源，在實際運行過程中展現出了優良的工藝穩定性。AE Paramount 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，廣泛應用在半導體薄膜工藝中，該型射頻電源成膜速度快，效率高，能夠在一定程度上提高產線效率和產品良率。MF 15002射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻工藝中存在較多應用和良好表現。

AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：Paramount MF 15002

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200~208V，50/60Hz，70A

RF 射頻輸出：15KW，1.8~2.17MHz，＜1000Vrms

通訊接口：Sync In/Out，CEX In/Out，Match，User，Serial，ENET

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX 進水壓力 6.9Bar/690kPa