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直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

AE(Advanced Energy) Pinnacle 3000 3KW DC POWER SUPPLY 能夠提供高效的效率和功率因數，從而降低運行和安裝成本。Pinnacle 優良的工藝穩定性和控制能力，可在工藝應用和偏壓的應用中有效減少差異和提高良品率。

AE Pinnacle 3000 3KW DC POWER SUPPLY

專為精度和工藝可重復性要求嚴苛的低功率應用而設計的堅固、緊湊型直流發電機。

利用小于 6 mJ/kW 的輸出電弧能量實現優異的薄膜質量。

連續運行一致性：優于 0.1% 的可重復性。

寬過程范圍 — 阻抗為 370 ~ 1000 VDC。

技術參數

1.POWER : 3000W

2.VOLTAGE RANGE : Full power from 370 to 1000 VDC

3.ARC ENERGY : ＜6mJ/kW

4.AC INPUT : 400 VAC +/- 10%

5.COMMUNICATION I/O : Profibus with on/off via analog port

優點

1.Pinnacle 系列經過現場驗證體現出優良性能和可靠性?;

2.良好通用性 — 同時適用于工藝和偏壓應用;

3.快速的可配置電弧響應 — 電弧損壞更低?;

4.精密的控制工藝?;

特點

1.高效的效率和功率因數;

2.小巧緊湊 — 3000 W 系列一套 2U、? 機架;

3.寬廣范圍的單抽頭設計;

4.僅提供 Profibus 和 RS-232 串行通信 400 VAC 輸入;

5.低存儲能量 — 每 1kW 輸出小于 6 mJ;

6.功率大于 15% 時輸出可重復性為 ±0.1%。

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