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AE高功率密度射頻電源 APEX 3013 13.56MHz 3000W 射頻發生器
  • AE高功率密度射頻電源 APEX 3013 13.56MHz 3000W 射頻發生器
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貨物所在地:江蘇揚州市

地: 美國

更新時間:2024-08-07 08:34:11

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AE 射頻電源 APEX 3013 13.56MHz 3000W RF Generator靈活通用,AE Apex Series射頻發生器和電源系統采用緊湊的模塊化設計,適用于真空腔室安裝。Apex 射頻發生器和電源系統運用成熟可靠的射頻轉換技術,提高產品和工藝可靠性。高密度功率使其成為先進等離子體工藝的理想選擇。具有各種通信模型和可配置功能,使您能夠很方便地完成平臺的定制以及集成方法的開發。

AE 射頻電源 APEX 3013 13.56MHz 3000W RF Generator功率密度高,能夠實現緊湊型安裝。在空間有限但性能至關重要的情況下,簡化版APEX Series 射頻發生器能為客戶提供值得信賴的各種安裝選項和功率。

AE APEX Series 射頻發生器可以適配腔室、機架或框架等安裝選項,在提供方便的同時還可以降低功率損耗。全系列RF Generator 有優秀的電弧管理能力,在13.56Mhz頻率下,可選擇1.5KW~10KW不同輸出功率的設備。


AE 射頻電源 APEX 3013 13.56MHz 3000W RF Generator

技術參數

Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW

Frequencies : 13 MHz

Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet

AC Input : 208 VAC

Line Frequency : 50/60 Hz

Cooling : Water

Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C

Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C

Advanced Features : Pulsing, CEX


優點:

  1. 靈活性提高,可直接集成工藝機臺

  2. 等離子操作穩定化

  3. 提高快速電弧管理的良品率

  4. 易于根據客戶的工藝要求進行定制和配置


特點:

  1. 流線型設計,實現大功率密度

  2. 可選腔室安裝、工具框架安裝、機架安裝和鞋盒式安裝

  3. 寬帶控制回路

  4. 可選脈沖控制

  5. 高速電弧管理



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