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MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 是一款高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器，通過無聲放電將純氧轉(zhuǎn)化為臭氧，實(shí)現(xiàn)高輸出和高濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮?dú)猓h(yuǎn)遠(yuǎn)低于其他臭氧發(fā)生器所需的氮?dú)馑剑虼俗罱K產(chǎn)生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 參數(shù)規(guī)格

類型：臭氧氣體發(fā)生器

臭氧輸出：335g/Nm³

流量：5~40slm

原料氣：6級或是更好的氧氣；100~1000ppm 5級或更好的氮?dú)?/p>

額定腔室壓力：15~45psig（100~310kPa）

壓力：20~30psig

水冷溫度：5~25℃

水冷過濾：100微米

水冷水質(zhì)：電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：7.6L/min MIN

AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，15A，50/60Hz

設(shè)備重量：50kg（130LB）

尺寸規(guī)格：483 * 445 * 267 mm

MKS ASTeX AX8407 特征

1.臭氧濃度在 5°C 時高達(dá) 335 g/Nm³ 或 21.7 wt%

2.5slm ~ 40slm的 O₂ 流量可實(shí)現(xiàn)工藝靈活性

3.優(yōu)秀的腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計可產(chǎn)生高濃度臭氧

4.閉環(huán)操作可實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的過程控制