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射頻電源 MKS Spectrum 11002 RF Generator
  • 射頻電源 MKS Spectrum 11002 RF Generator
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貨物所在地:江蘇揚州市

更新時間:2025-04-02 08:42:58

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MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW 是一款緊湊、輕量級的射頻產品,具有各種用戶界面和功能,包括自動頻率調諧、快速瞬態恢復和脈沖。

MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum RF Generator 射頻發生器是MKS的一款新型射頻發生器平臺,可提供1.5kW ~ 11kW的各種頻率功率,以滿足半導體行業薄膜加工日益增長的需求。高可靠性的設計確保了設備改進后的工藝性能和良率。MKS Spectrum Series 設備功率控制精確,響應時間快,熱穩定性好,精度高。MKS Spectrum 系列射頻電源具有優秀的工藝穩定性,精準的控制能力和優良可靠的成膜能力,成膜速度快,在半導體制程薄膜工藝中被廣泛應用。


技術參數

AC 電源輸入:200 ~ 208V,3 phase ~,60A,50/60Hz

RF 射頻輸出:8500W(Max.),1.8 ~ 2.17MHz

電機扭力:8.5 ~ 10.0 LB. FT.   120 ~ 140 KGF/CM

散熱方式:水冷散熱

水冷進水需求:水流(Min.)11.4L/Min(3GAL/Min)

水冷水溫:+35℃(Max.)

進水水壓:60 PSI / 414 kPa(Max.)

通信接口:POD / RS -232

設備重量:57kg (125lbs)






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