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MKS 遠程等離子體源 Paragon F* 8SLM RPS 設計結合了專有的等離子塊設計和等離子電解氧化涂層，可實現低顆粒、長壽命，從而降低擁有成本。模擬或 EtherCAT 控制：Paragon 遠程等離子源提供模擬和 EtherCAT通信端口。EtherCAT 可用于直接控制 Paragon，或與模擬端口結合，僅作為數據監控端口。Paragon 將智能數據集流式傳輸到工具或晶圓廠數據庫，以監控或修改操作參數，以保持工藝工具以高效率運行并支持診斷（APC、FDC）應用程序。

設備類型：AX7700MTS-01 遠程等離子源

點火時供氣：氬氣僅用于點火

點火后供氣：高達8SLM的NF₃

NF₃操作反應物輸出：＞95%跨操作空間解離，1-10T，1-8SLM

O₂和NF₃混合操作反應物輸出：＞95%跨操作空間解離，1-10T，1-8SLM

工藝氣體進排氣：入口氣體連接KF40，出口氣體連接KF50

占空比：最少2秒準時達到峰值（處理時間＞45分鐘）

氣體流量：點火期間：1-8Torr，氬氣1-5SLM；點火后：1-10Torr，NF₃氣體1-8SLM

接液材料：PEO涂層、6061-T6鋁、Chemraz、氧化鋁

工作環境：環境空氣≤40℃

需要冷卻水：2加侖/分鐘，＜30℃

控制接口：EtherCAT和模擬量I/O25針D

電流要求：208VAC，50/60Hz，35A，三相

大小：18.40 x 9.50 x 10.50 inches (467 x 241 x 267 mm)

重量：24.5公斤（54磅）

優點：

1.高達8SLM NF流量，緊湊的尺寸可實現更快的清潔時間

2.優秀的解離性（＞95%），可實現高效、均勻的清潔效果

3.EtherCAT智能數據報告可實現更快、更緊密的設備操作

4.兼容O₂和NF₃混合氣體

5.專有的PEO等離子塊設計提供更高的工藝性能