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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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    批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，其模塊化控制系統(tǒng)使用最新一代處理器，基于 Linux 平臺(tái)作為操作系統(tǒng)，以及圖形用戶界面 (GUI)。因此，可支持手動(dòng)和全...
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