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探針臺的維護與保養

閱讀:802        發布時間:2023-10-23

探針臺又稱探針測試臺,主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析,抽查測試等用途。簡易型組合式探針臺結構小巧,功能實用,成本較低的簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎上,去除了非必要得部件,該探針臺系統包含:光學成像部分,隔振平臺探針座,四維調整載片臺(Chuck),真空吸附系統;譜量光電可以根據客戶應用搭建探針臺,以達到更好得使用效果和性價比。

維護與保養:
平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺, 動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。
相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。


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