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高低溫真空探針臺系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結果誤差，是材料學、芯片、半導體器件等方向實驗分析的理想選擇。
技術優勢
· 控溫范圍可達-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系統）；
· 控溫精度可達±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃;
· 極限真空度優于2Pa@機械泵，極限真空度優于3*10^(-3)Pa@分子泵組；
· 探針位移重復定位精度2μm，分辨率3μm，單軸直線度±2μm；
· 三同軸探針夾具，漏電精度100fA，陶瓷結構;
· 樣品臺多個尺寸可選，常規有4/6/8/12英寸。
通用參數
選型表
相關配件
多種精度，多種夾具類型探針座
同軸線纜，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應用領域
半導體材料光電檢測，功率器件測試，MEMS測試，PCB測試，液晶面板測試，測量表面電阻率測試，精密儀器生產檢測，航空航天實驗室。
譜量光電可以根據客戶實際應用需求，定制配套高低溫真空探針臺系統，以達到更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢
