陰極發(fā)光（CL）原理
陰極發(fā)光是固體物質(zhì)的一種表面物理熒光現(xiàn)象，在掃描電鏡中，當(dāng)一束高能電子束轟擊固體樣品的表面時(shí)，入射電子與樣品發(fā)生作用，產(chǎn)生諸如二次電子、背散射電子、特征X射線、俄歇電子等信號(hào)，而對于某些特定材料，如礦物、氧化鋁、三/五族材料（GaAs，InGaN）、磷光劑、燃料及一些有機(jī)化合物等，入射電子會(huì)將材料的電子轟擊至導(dǎo)帶讓其處于激發(fā)態(tài)，受轟擊電子會(huì)快速回復(fù)至價(jià)帶，回復(fù)過程中產(chǎn)生的能量差就以可見光的形式釋放出來，即陰極發(fā)光，陰極發(fā)光是一種熒光，又稱陰極熒光，其發(fā)光波譜多數(shù)為可見光范疇，波長多數(shù)在400~760nm之間。陰極熒光的發(fā)生是由于物質(zhì)中有雜質(zhì)元素的存在或晶體結(jié)構(gòu)中如位錯(cuò)、空位和偏離化學(xué)計(jì)量比、結(jié)晶體中的無序、晶格破壞等缺陷的存在。
陰極熒光探測器
利用專用陰極熒光探測器（CL探測器）采集陰極熒光（CL）數(shù)據(jù)，在地質(zhì)、光電、失效分析、陶瓷、玻璃及其他領(lǐng)域，揭示樣品中利用常規(guī)電子信號(hào)或X射線成像技術(shù)無法顯示的特性。將CL數(shù)據(jù)與形貌、晶體結(jié)構(gòu)和元素信息相關(guān)聯(lián)，可以更好地了解樣品的光子特性、組成、材料質(zhì)量或是歷史。
Þ鋯石顆粒的SE和CL成像，顯示不同微觀信息：
傳統(tǒng)CL探測器依賴樣品與物鏡之間的反光鏡，為了有效檢測熒光信號(hào)，反光鏡需要在大的（固定的）工作距離下精確對中。這種設(shè)計(jì)限制了掃描電鏡的視野寬度，也限制甚至阻止了電子和X射線的檢測，需要將CL探測器退出再次掃描樣品才能獲取此類信號(hào)。
Þ傳統(tǒng)CL探測器結(jié)構(gòu)如下所示：
賽默飛新型RGB CL探測器采用平面式設(shè)計(jì)，消除了反光鏡的諸多限制，與伸縮式背散射電子探測器類似，可在樣品和物鏡之間滑動(dòng)。探測器面積大，無需進(jìn)行光學(xué)對中，且不影響視野寬度。CL探測器采集信號(hào)的同時(shí)，不影響二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線信號(hào)等的采集，這樣，對樣品掃描一次，就可將CL數(shù)據(jù)與SE、BSE和 EDS多重信號(hào)關(guān)聯(lián)起來。
賽默飛RGB CL探測器結(jié)構(gòu)如下所示：
RGB CL探測器集成在電鏡用戶界面中，電子束開始掃描即可獲取彩色圖像，助力多用戶實(shí)驗(yàn)室，獲得CL數(shù)據(jù)，并與多種數(shù)據(jù)進(jìn)行無憂關(guān)聯(lián)。
賽默飛用戶界面中四窗口同步成像顯示如下：
賽默飛RGB CL探測器特點(diǎn)
多分割探測器可同步采集紅色、綠色、藍(lán)色（RGB）信號(hào)，也可采集全色信號(hào)
可探測的光譜響應(yīng)范圍：350 ~ 900 nm
氣動(dòng)伸縮式探頭設(shè)計(jì)，軟件控制一鍵切換
大視野觀察和成像（探測器不影響掃描電鏡的最大視野范圍）
靈活的工作距離范圍；可在較小工作距離下工作，無需退出探測器
完全集成在掃描電鏡用戶界面中，設(shè)置有安全保護(hù)限制等
可通過真彩圖像校準(zhǔn)或是彩色襯度強(qiáng)化生成彩色圖像
兼容Maps大面積圖像采集和拼接，支持電鏡同步采集SE / BSE / EDS（需要相關(guān)許可證號(hào)）
可與高/低真空探測器及鏡筒內(nèi)探測器同時(shí)成像
RGB CL 成像示例
Þ老式電視 (CRT -陰極射線管)顯示器上的
RGB熒光粉成像顯示如下：
Þ老式電視 (CRT -陰極射線管)顯示器上的
RGB熒光粉SE+CL同步成像顯示如下：
Þ砂巖樣品的CL圖像
Þ微裂縫恢復(fù) - 碎屑顆粒的壓碎和愈合作用表征
Þ砂巖樣品的石英次生加大現(xiàn)象表征
Þ鋯石顆粒的CL成像
Þ鋯石顆粒的CL彩色成像
Þ鋯石樣品的大面積CL彩色成像（Maps CL）
Þ鋯石樣品的大面積CL彩色成像（Maps CL）
Þ磷灰石顆粒的BSE、CL及BSE+CL疊加成像
Þ磷灰石樣品的大面積BSE及CL成像（Maps CL）
Þ獨(dú)居石顆粒的BSE及CL RGB成像
Þ鉆石CL多模式同時(shí)成像
Þ通過CL尋找GaN缺陷
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