超高精度三坐標(biāo)測量機(jī)

 LEGEX

采用固定橋式結(jié)構(gòu)，可提供初項(xiàng)達(dá)0.28微米的測量精度。

產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢

LEGEX系列是初項(xiàng)達(dá)0.28μm的高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī)，對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并排除或很大程度地降低其影響。

● 本體底座部分嚴(yán)選材料，采用密封結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行的應(yīng)力分析，保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度，使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至最小。此外，還引入了各種技術(shù)來實(shí)現(xiàn)超高精度，如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對(duì)策等。

● 用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元（自社開發(fā)），該單元采用熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有很高的位置檢測能力，可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制功能。此外，提供豐富的選件，包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測頭，數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實(shí)現(xiàn)高精度測量。

● 初項(xiàng)精度：0.28μm~

用途

1.測二維的長寬直徑等尺寸，可高效測量各種精密模具的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，如長度、槽、寬度、孔距、間距、厚度、半徑、圓弧、R角。

2.測高度、平面度等三維尺寸

可用于機(jī)械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、低壓電器、磁性材料、精密沖壓、接插件、連機(jī)器、端子、手機(jī)、家電、印刷電路板、鐘表、計(jì)量檢測等領(lǐng)域。