高真空隔膜泵電機的圓周運動，通過機械裝置的偏心運動帶動泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮（壓縮時在排氣口形成正壓，抽氣口關閉）、拉伸（拉伸時在抽氣口形成負壓，排氣口關閉），在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。
高真空隔膜泵的優勢：
1、由于用空氣作動力，所以流量隨背壓（出口阻力）的變化而自動調整，適合用于中高粘度的流體。而離心泵的工作點是以水為基準設定好的，如果用于粘度稍高的流體，則需要配套減速機或變頻調速器，成本就大大的提高了，對于齒輪泵也是同樣如此。
2、在易燃易爆的環境中用氣動泵可靠且成本低，如燃料、的輸送，接地后不可能產生火花；第二、工作中無熱量產生，機器不會過熱；第三、流體不會過熱因為隔膜泵對流體的攪動小。
3、在工地惡劣的地方，如建筑工地、工礦的
廢水排放、由于污水中的雜質多且成分復雜，管路易于堵塞，這樣對電泵就形成負荷過高的情況，電機發熱易損。氣動隔膜泵可通過顆粒且流量可調，管道堵塞時自動停止至通暢。
4、另外隔膜泵體積小易于移動，不需要地基，占地面小，安裝簡便經濟。可作為移動式物料輸送泵。
5、在有危害性、腐蝕性的物料處理中，隔膜泵可將物料與外界隔開。
6、或是一些試驗中保證沒有雜質污染原料。
耐腐蝕高真空隔膜泵使用了特殊的隔膜(膜片表面復合PTFE涂層)和泵頭設計，包括全部接頭和管路，保證與氣體接觸的部分均為進口PTFE材料，因此可耐大部分具有腐蝕性的氣體；同時電器開關及外殼也做防蝕處理，特別是對傳動機構和電路部分使用耐腐蝕材料形成密閉空間，與外界環境*隔絕，使真空泵不僅能耐腐蝕性介質，還能適用于腐蝕性環境中。
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