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什么是多級羅茨式干真空泵？
多級羅茨真空泵是在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。
多級羅茨式干式真空泵的特點
羅茨干式真空泵是集成了多級機械增壓泵的干式真空泵。使用三葉轉(zhuǎn)子的羅茨型干真空泵能夠通過將多個轉(zhuǎn)子連接到單個軸來將空氣壓縮和排氣至大氣壓。轉(zhuǎn)子外殼內(nèi)不使用油或其他密封液體，可實現(xiàn)清潔排氣。齒輪和軸承中使用油進行潤滑，但密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計是為了防止油進入殼體。
【優(yōu)點】可以獲得潔凈的真空，從常壓到極限壓力都可以使用。
【缺點】在容積效率方面，不如接觸式泵。
多級羅茨干式真空泵的主要應(yīng)用領(lǐng)域
FPD制造設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。
多級羅茨式干式真空泵的機構(gòu)
氣體由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子輸送
該泵有兩個三葉轉(zhuǎn)子（旋轉(zhuǎn)體），安裝在一個稱為外殼的盒子中，它們通過一對齒輪以相同的頻率沿相反的方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子彼此不接觸，或者轉(zhuǎn)子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時旋轉(zhuǎn)以傳送和壓縮氣體。轉(zhuǎn)子具有多級結(jié)構(gòu)，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。
