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最新資訊 日本荏原 EBARA 干泵EV-X300N
發(fā)布日期
2025年 6 月2 5 日
我公司發(fā)表了[新產(chǎn)品]“荏原 EBARA 干泵新聞"。
近期我司新推出或升級了荏原 EBARA 干泵憑借其無油運行、耐腐蝕及高潔凈度的技術(shù)特性，主要應(yīng)用于以下對真空環(huán)境要求嚴(yán)苛的工業(yè)場景：
?一、制造領(lǐng)域?
?半導(dǎo)體與液晶面板生產(chǎn)?
制造過程中需超高潔凈真空環(huán)境，干泵無油設(shè)計避免油蒸氣污染晶圓和精密元件，保障薄膜沉積/蝕刻工藝穩(wěn)定性。
?太陽能電池制造?
用于硅片鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)，耐腐蝕設(shè)計適應(yīng)化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝中的腐蝕性氣體環(huán)境。
?二、科研與特殊工藝?
?真空鍍膜設(shè)備?
金屬/光學(xué)鍍膜時提供穩(wěn)定真空度，無油污染確保鍍層均勻性和附著力（如裝飾鍍膜、光學(xué)鏡片鍍膜）。
?制藥與生物實驗室?
輸送敏感介質(zhì)時避免油污染，符合無菌生產(chǎn)要求，適用于凍干機、分子蒸餾設(shè)備。
?三、化工與腐蝕性環(huán)境?
?腐蝕性氣體處理?
特殊涂層與材質(zhì)（如EV-S200型號）耐受酸堿氣體，用于化工反應(yīng)釜排氣、廢氣回收系統(tǒng)。
?鋰電池電極生產(chǎn)?
在電極材料干燥工序中提供無油真空，防止電解液污染，提升電池安全性。
?核心優(yōu)勢?
注：荏原干泵需定期維護轉(zhuǎn)子與密封件，建議由授權(quán)服務(wù)商執(zhí)行專業(yè)保養(yǎng)。
