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池田屋實業(深圳)有限公司
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池田屋實業（深圳）有限公司近期推出新品OHARA小原株式會社用于 i 線的高均勻性光學玻璃
產品介紹
i線用高均勻性光學玻璃具有優異的內部透過率、優異的光學均勻性、且日曬（紫外線引起的著色）少等特點，可用于半導體制造裝置（步進機）及相關設備（照明等）。
特征
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01內部透射率（τ）
玻璃透明度的指標為不包含表面反射損失的光譜透射率（τ），表示365nm處的內部透射率的保證值。但樣品厚度為10mm。
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02日曬
過度曝光度是指用超高壓汞燈照射照射前光譜透射率80%所對應波長后，光譜透射率的下降程度。詳細的測定方法和條件，請參考“日本光學硝子工業會標準（JOGIS）”。
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03光學均勻性
通過使用氦氖激光干涉儀測量平行玻璃平面的局部折射率變化Δn，來保證均勻性。保證Δn值會因玻璃種類、尺寸和形狀而異，因此分別表示160φ以下、210φ以下、260φ以下。交貨尺寸薄于25mm時，將以25mm以上的暫定厚度進行測量和保證。我們也可以提供比標準值更嚴格的規格，歡迎垂詢。
-
04同一批次內折射率的變化
同一批產品，相同退火工藝后Ni的偏差以小數點后第五位表示。例如：±1 (×10??)
-
05性能容忍度
由于此為特殊規格，折射率高于產品目錄值時，視為標準值，在此基礎上增加±20的公差，并將折射率（ni）的允許范圍顯示至小數點后第五位。例如：+20±20
物理特性
•本目錄格式基于本公司的光學玻璃主目錄，適用于i線以外的光學系統。各特性項目的詳細數據[PDF]請參考。以下項目與詳細數據[PDF]有所不同。
•給出了 326 至 2325 nm 范圍內 22 個光譜的折射率。
•對于產品目錄中未列出的波長，折射率可以像以前一樣使用Sellmeier色散公式計算。由于色散公式的適用范圍有所擴展，數據表列出了326至1129nm波長范圍內使用的色散常數。如果您想了解1129nm至2325nm波長范圍內的折射率，請使用下面列出的色散常數。
•不僅顯示傳統的 10 毫米樣品厚度 (τ10) 的內部透射率，還顯示更實用的 25 毫米厚度 (τ25) 的內部透射率。
i線高均勻性光學玻璃數據
| 玻璃種類名稱 | 內部 透射率 τ10mm (365nm) | 耐日曬 | 光學均勻性標準（×10 -6） | ni 批次內 變異 (×10 -5 ) | 性能公差 （×10 -5） | ||
| φ160mm 以下 | φ210mm 以下 | φ260mm 以下 | |||||
| 聯系我們 | 0.997 | 好的 | 2.0 | - | - | ±2 | +20±20 |
| 聯系我們 | 0.999 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +15±20 |
| 聯系我們 | 0.998 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±1 | +20±20 |
| 聯系我們 | 0.994 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.996 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +20±20 |
| 聯系我們 | 0.995 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +30±20 |
| 聯系我們 | 0.997 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.998 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.995 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.996 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.997 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.986 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.991 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
| 聯系我們 | 0.993 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
（注）光學均勻性標準：根據玻璃種類和尺寸，我們可能會提供比上述值更嚴格的規格。更多詳情，請聯系我們。
（注）性能公差：我們可以適應比上述值更嚴格的規格，因此請聯系我們了解詳情。
1129nm至2325nm波長范圍內的色散常數
| 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 |
| A1 | 7.65663766E-01 | A1 | 1.09972335E+00 | A1 | 1.29915001E+00 | A1 | 1.33265695E+00 |
| A2 | 4.51879777E-01 | A2 | 3.87872537E-01 | A2 | 1.44676555E-01 | A2 | 1.51642865E-01 |
| A3 | 1.13199134E+00 | A3 | 1.11247378E+00 | A3 | 1.00019303E+00 | A3 | 1.00238959E+00 |
| B1 | 3.48152533E-03 | B1 | 5.82303457E-03 | B1 | 9.67218844E-03 | B1 | 1.00208464E-02 |
| B2 | 1.28720516E-02 | B2 | 1.88745144E-02 | B2 | 4.65408008E-02 | B2 | 4.78779669E-02 |
| B3 | 2.14351131E+02 | B3 | 1.08214962E+02 | B3 | 1.20780522E+02 | B3 | 1.19439670E+02 |
| 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 |
| A1 | 8.79731455E-01 | A1 | 1.12268320E+00 | A1 | 1.27520167E+00 | A1 | 1.32558993E+00 |
| A2 | 3.08634219E-01 | A2 | 4.07804849E-01 | A2 | 1.28823528E-01 | A2 | 1.57859674E-01 |
| A3 | 1.02136885E+00 | A3 | 1.16161178E+00 | A3 | 1.01138010E+00 | A3 | 1.03396744E+00 |
| B1 | 4.90947559E-03 | B1 | 5.79521544E-03 | B1 | 9.37656096E-03 | B1 | 1.01008566E-02 |
| B2 | 1.57419667E-02 | B2 | 1.91303182E-02 | B2 | 4.58001584E-02 | B2 | 4.74276657E-02 |
| B3 | 1.11412218E+02 | B3 | 1.11113962E+02 | B3 | 1.23589724E+02 | B3 | 1.23686168E+02 |
| 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | ||
| A1 | 1.01218580E+00 | A1 | 1.23587282E+00 | A1 | 1.30190880E+00 | ||
| A2 | 2.58122629E-01 | A2 | 1.14028206E-01 | A2 | 1.42348427E-01 | ||
| A3 | 1.13916089E+00 | A3 | 9.21822183E-01 | A3 | 9.08115622E-01 | ||
| B1 | 5.66358122E-03 | B1 | 8.98302029E-03 | B1 | 9.72147734E-03 | ||
| B2 | 1.96285352E-02 | B2 | 4.39009973E-02 | B2 | 4.66540388E-02 | ||
| B3 | 1.12904303E+02 | B3 | 1.14338154E+02 | B3 | 1.12377850E+02 | ||
| 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | 玻璃類型 | 聯系我們 | ||
| A1 | 1.18261390E+00 | A1 | 1.20208094E+00 | A1 | 1.37920265E+00 | ||
| A2 | 2.03921973E-01 | A2 | 1.02467101E-01 | A2 | 1.74908080E-01 | ||
| A3 | 1.11763340E+00 | A3 | 1.01797415E+00 | A3 | 9.72480533E-01 | ||
| B1 | 6.85280751E-03 | B1 | 8.49251346E-03 | B1 | 1.06616552E-02 | ||
| B2 | 2.50893634E-02 | B2 | 4.19306973E-02 | B2 | 4.96089256E-02 | ||
| B3 | 1.24101415E+02 | B3 | 1.22687120E+02 | B3 | 1.16926659E+02 |
