顯微熒光光譜儀一般由以下裝置組成： 1.激發光源：通常使用具有較高能量的光源，如中空陰極放電燈、電暈放電燈、氙弧燈等。高壓汞弧燈是應用廣泛的一種光源。
2.單色器：把光源發出的連續光譜分解成單色光，并能準確方便地“取出”所需要的某一波長的光。可分為光柵單色器和濾光片單色器兩類。其中，光柵單色器利用光的衍射現象和干涉現象進行分光，具有較高的分辨率；濾光片單色器則通過選擇性地透過特定波長范圍的光來實現單色光的選擇。
3.樣品室：用于放置樣品，使樣品能夠被激發光源照射到。樣品室的設計需要考慮到樣品的種類和形態，以及激發光和熒光的傳輸路徑。
4.檢測器：用于測量和記錄經過光學系統的光信號，常用的檢測器包括光電倍增管（PMT）、光導攝像管、電子微分器和電荷耦合器件陣列檢測器（CCD）等。目前，幾乎所有普通熒光光譜儀都采用光電倍增管作為檢測器，它具有高的靈敏度和超快時間響應，可將微弱光信號轉換成電信號并進行放大。
5.讀出裝置：以前有數字電壓表、記錄儀（x～y型或x～t型）和陰極示波器等，現在隨著計算機軟硬件技術的發展，可以根據不同的需要選擇不同的直觀的視頻讀出方式。
這些組成部分共同協作，使得顯微熒光光譜儀能夠準確地測量和分析樣品的熒光特性，為科學研究和工業應用提供重要的數據支持。
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