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過氧化氫低溫等離子滅菌器的工作原理是通過過氧化氫進行滅菌，消毒過程中通過特定方式使醫療器械和手術器械上的多種微生物失去活性，從而達到滅菌目的。最早引入等離子滅菌技術的是美國強生公司，目前國內的生產廠家如成都老肯等都是具名度的。過氧化氫等離子體是1990年代開始面世的一項新低溫滅菌技術。等離子體被認為是液態、氣態、固態之外的第四種狀態，是氣體分子在極度真空的腔體內受激發而形成的。過氧化氫等離子體滅菌，具有滅菌循環時間短，能分解終產物毒性低的優勢

過氧化氫滅菌柜的滅菌過程主要包括以下幾個步驟：

1. 吸收：過氧化氫穿透進入器械或包裹中。

2. 吸附：過氧化氫分子在器械盒包裹表面聚集。

3. 分解：接觸物品后，過氧化氫迅速分解為水和氧氣（2H2O2→2H2O+O2）。

4. 冷凝：過氧化氫從氣態凝結為液態。

過氧化氫等離子低溫滅菌風險及措施過氧化氫適合于不耐濕熱精密器械的終末滅菌，調查數據顯示國內約83%的醫院使用過氧化氫等離子低溫滅菌設備。目前臨床的使用現狀包括：滅菌器自身故障；電源故障；清洗不完成；器械物品未完成干燥；管腔結構器械；包裝不當；器械物品裝載不當；生物指示劑與機器不匹配；環境因素；人為因素。調查結果顯示84%滅菌失敗發生在真空期，過氧化氫等離子低溫滅菌關鍵參數包括壓力、濃度及等離子功率，應關注滅菌劑濃度，滅菌期間艙內過氧化氫濃度達到合格對滅菌質量非常關鍵。