砷烷（AsH3）和磷烷（PH3）都是半導體工業中使用的電子特種氣體，它們都具有毒性，對人體健康構成嚴重威脅。以下是它們對人體的具體影響：
急性毒性：吸入高濃度的砷烷或磷烷會導致呼吸困難、胸悶、咳嗽、頭暈、嘔吐等癥狀，嚴重時可導致死亡。
慢性毒性：長期接觸低濃度的砷烷或磷烷會對人體產生慢性毒性作用。砷烷和磷烷都可引起骨髓抑制、造血功能障礙、白血病和肺癌等疾病。此外，它們還會對神經系統、心血管系統和生殖系統產生不同程度的損害。
對呼吸系統的影響：吸入砷烷或磷烷會對呼吸系統造成損害，可能導致呼吸道疾病。
對神經系統的影響：砷烷和磷烷都可導致神經中毒，影響神經系統的正常功能。
對其他器官的影響：砷烷和磷烷還可能對其他器官造成損害。例如，砷烷進入人體后，蓄積于肝、腎、肺、骨骼等部位，特別是在毛發、指甲中貯存，砷在體內的毒作用主要是與細胞中的酶系統結合，使許多酶的生物作用受到抑制失去活性，造成代謝障礙。
綜上所述，砷烷和磷烷泄漏對人體健康有著嚴重的危害。在生產和使用這些氣體時，必須采取嚴格的防護措施，以防止泄漏和暴露
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