MIYUKI美幸輝真空泄壓閥VR-N16
MIYUKI美幸輝真空泄壓閥VR-N16
真空泄壓閥
對腔室進行排氣時，當超過大氣壓時，**閥會自動釋放壓力，這樣腔室就不會因排氣而過壓。
特征
| 法蘭 | R-N16 系列 | VR-N16 系列 |
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| 開啟壓力調節范圍 *1 | 0.115 ~ 0.170 MPa （**壓強） |
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| 連接法蘭 | 西北 16 |
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| 卸貨口（溢流口） | RC1/8 |
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| 氣體接觸材料 | 鋁合金 |
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| 閥體填料 | 氟橡膠 O 型圈 |
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| 泄漏量 | 1×10-8 Pa?m3/s 或更低 |
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| 使用區域 | 0.2 MPa ~ 10-5 Pa （**壓強） |
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| 極限溫度 | 70 攝氏度 |
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| 質量 | 0.3 千克 | 0.4 千克 |
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| 排氣功能 |
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| 進氣口 | ― | RC1/8 |
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| 閥體填料 | ― | 氟橡膠 O 型圈 |
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| 軸封 | ― | 氟橡膠 O 型圈 |
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| 氣缸類型 | ― | 單作用 （N.C.） |
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| 壓縮空氣出口 | ― | M5 系列 |
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| 氣壓要求 | ― | 0.4~0.6 MPa 克 |
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* 開啟壓力調節范圍存在約 8% 的個體差異。
* 此規格如有更改，恕不另行通知。
