該款石英真空等離子清洗機具備的石英腔體設計，具有優良的密封性能，有效防止氣體泄漏，提升設備安全性。其13.56 MHz射頻等離子發生器能夠產生高密度的等離子體，這種高密度等離子體可以深入產品表面的微小結構，從而確保出眾的清洗和處理效果。此外，這種高效的等離子體處理還有助于提升小型產品在實驗測試中的表現，滿足科研和工業領域對高精度和高純度表面處理的嚴苛要求。

本機不僅在性能上表現*，還在成本控制上具有明顯優勢。它允許用戶在合適的預算內完成高質量的表面處理任務，實現成本效益的增長。配備的可視化觸摸屏使操作更為直觀，過程參數的實時監控功能讓用戶可以即時調整和優化操作設置，確保處理效果始終符合預期。

此外，該設備支持多種工藝氣體，包括氬氣、氧氣、氫氣、氦氣和各種氟化氣體，適應不同的處理需求和工藝條件。高精度的氣體流量監測系統配合雙路工藝氣體配置（氬氣和氧氣），實現了雙路氣流的精確控制，用戶可以根據需要調整氣體比例，以達到良好的處理效果。這種靈活的工藝氣體使用方式，配合精準的流量控制，進一步提高了設備的適用性和處理品質，是科研和工業領域理想的表面處理解決方案。

①可視化觸摸屏，過程參數實時監控。

②支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體。

③高精度氣體流量監測系統，兩路工藝氣體配置 ( 氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例可調