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深紫外熒光系統主要技術指標
典型參數
熒光壽命檢測波長 | 220-600 nm |
熒光光譜檢測波長 | 200-1000 nm |
時間分辨率 | ≤20 ps |
空間分辨率 | ≤1 μs |
成像功能 | 熒光強度或光譜成像/熒光壽命成像/深紫外成像 |
成像范圍 | 可定制 |
激發波長 | 206 nm/257 nm/343 nm/515 nm |
拓展功能 | |
拓展模塊 | 拉曼、SHG、光電流等成像模塊 |
外場調控 | 支持拓展低溫、高壓、磁場等外場條件 |
深紫外熒光系統應用實例
晶圓位錯缺陷光學無損識別
實驗條件
樣品名稱 | SiC外延片 | 激發光波長 | 390 nm |
大連創銳光譜科技有限公司基于自主創新的時間分辨光譜技術，致力于推動光譜技術在科研和工業領域的深入應用。在科研儀器領域，創銳光譜由一線專家帶隊，是目前國內極少具備瞬態光譜獨立研發-生產-應用完整能力體系的團隊。創銳光譜以時間分辨光譜核心技術，超快瞬態吸收光譜系統為核心產品，打破進口壟斷格局。主要產品包括瞬態吸收光譜系統、共聚焦熒光成像系統、DPSS納秒激光器及高速探測器。在工業半導體檢測領域，公司以光譜技術創新為核心立足點，已迅速完成碳化硅襯底、外延、氮化鎵、鈣鈦礦電池等多領域布局。
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