5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高

時(shí)間：2025/5/10閱讀：261

5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高

產(chǎn)品信息

5810i 型離子發(fā)生器鼓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)是一款高性能頂置式鼓風(fēng)機(jī)，與外部傳感器結(jié)合使用，可保持 +/- 1v 的離子平衡，適用于嚴(yán)格的靜電控制過程。

特征

■與外部傳感器（NOVX 3150/3350/3360/7000 等）
　結(jié)合使用時(shí)可實(shí)現(xiàn)高精度 +/-1v 離子平衡
　（不使用外部傳感器時(shí)為 +/-3v）
■高潔凈兼容性
■ 5802i、5810i、5822i 型離子發(fā)生器風(fēng)機(jī)
　專為在潔凈室中使用而
　設(shè)計(jì)，高度潔凈且符合 ISO 4 級（聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E 10 級）標(biāo)準(zhǔn)
■專有的自動離子平衡控制
　可延長維護(hù)周期
■配備風(fēng)扇停止警報(bào)
■可選的自動電極清潔機(jī)制
■
　高可靠性和本地支持，并有全球眾多交付記錄作為后盾

規(guī)格

輸入電壓	100-240V交流電+/-10% 50/60Hz
外部的	鋁上的環(huán)氧/聚酯粉末涂料
離子發(fā)生方法	穩(wěn)態(tài)直流法
電極	鈦合金8片/扇
風(fēng)量	144cfm 典型值/風(fēng)扇風(fēng)扇速度 = 高
除靜電時(shí)間	<3秒。 45cm距離。1kv→100v。晶圓廠速度 = 高
離子平衡	<+/-1v 典型值（帶外部傳感器）+/-3v（不帶外部傳感器）
尺寸	-32：高96毫米 x 深155毫米 x 長813毫米 -40：高96毫米 x 深155毫米 x 長1016毫米 -44：高96毫米 x 深155毫米 x 長1118毫米
重量	-44：鋁制機(jī)身規(guī)格4.6kg

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5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高

產(chǎn)品信息

5810i 型離子發(fā)生器鼓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)是一款高性能頂置式鼓風(fēng)機(jī)，與外部傳感器結(jié)合使用，可保持 +/- 1v 的離子平衡，適用于嚴(yán)格的靜電控制過程。

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