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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
采用隔膜式的全金屬密封MFC，經過EP處理以及氧化覆膜處理，可以對應腐蝕性流體。
可選通訊：RS485,DeviceNet®,EtherCAT®
IGS W型密封圈接頭
使用S. P. 精度高精度計測、全流量控制范圍響應性1sec以內
可使用專用軟件進行量程切換(３０～１１０％F.S.)
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器類型 | 熱式繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門 | 比例電磁閥（斷電時關閉） | ||
| 流量量程(N?換算) | 10SCCM～10SLM | 30SLM | |
| 控制范圍 | 2～100%F.S. | ||
| 響應性 | 1sec以內 | ||
| 精度 | ±1%S.P.(10～100%F.S.) ±0.1%F.S.(2～10%F.S.) | ||
| 重現性 | ±0.2%F.S | ||
| 動作壓差 | 50～300kPa | 200～300kPa | |
| 入口最大壓力 | 300kPa(G) | ||
| 耐壓 | 1MPa(G) | ||
| He泄漏率 | 1×10-11Pa?m3/sec以下 | ||
| 允許環境溫度 | 5～50℃ | ||
| 精度保證溫度 | 15～40℃ | ||
| 允許保存溫度 | 0～60℃ | ||
| 允許環境溫度 | 0～80%RH(未出現冷凝) | ||
| 接觸氣體部位材質 | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | ||
| 通訊接口(只限RS485) | D-sub9pin、RJ45×2 | ||
| 流量設定信號(只限RS485) | 0～5VDC（輸入阻抗約1MΩ） or 4～20mA（輸入阻抗約約250Ω） | ||
| 流量出力信號(只限RS485) | 0～5VDC(負載電阻10kΩ以上) or 4～20mA(負載電阻500Ω以下) | ||
| 數字通信 | RS485/DeviceNet®/EtherCAT® | ||
| 電源 | 11～25VDC(5VA max) | ||
| 接頭?平面尺寸 | 1.125"W型92mm 1/4"VCR相當 | ||
| 重量 | 約1,000g | ||
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