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質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量 和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝 設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖 熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07-9質量流量控制器/流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、 穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 采用國際標準接頭, 其 操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。
D07系列質量流量控制器和質量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產品配套使用, 控制控制器與顯示之間用專用電纜連接。
特點
• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭，國際標準機械接頭
D07-9質量流量控制器/流量計技術參數
類型 | D07-9E 型 | D07-9EM 型 | D07-9F 型 | D07-9FM 型 |
流量規格 | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM |
準確度 | ±2 % F.S. | ±2 % F.S. | ±2% F.S. | ±2 % F.S. |
線性 | ±1 % F.S. | ±1 % F.S. | ±1% F.S. | ±1 % F.S. |
重復精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2% F.S. | ±0.2 % F.S. |
響應時間 | (1 ~ 4) sec | (1 ~ 4) sec | ≤ 4sec | ≤4 sec |
工作壓差范圍 | 20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） | - | 20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) | - |
氣壓降 | - | 20~100SLM:<0.02 MPa （2.9 psid）; | - | 20~100SLM:<0.02 MPa (2.9 psid); |
最大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐壓 | 3 MPa （435.1 psig） | 3 MPa （435.1 psig） | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) |
工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5℃ ~ 45℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
電源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24VDC 400 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 2.6 kg | 1.5 kg | 2.6 kg | 1.5 kg |
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