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質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫 藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電 子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設 備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07-7質量流量控制器/流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、 工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安 裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。 D07系列質量流量控制器一般與 D08系列流量顯示儀等產品配套使用,控制器與顯示 儀之間用專用電纜連接。
特點
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流，使用壽命長
D07-7質量流量控制器/流量計技術參數
編號 | 類型 | D07-7K 型 | D07-7B 型 | D07-7C 型 | D07-7CM 型 |
1 | 流量規格 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 | 準確度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S |
3 | 線性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 響應時間 | 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 10 sec |
6 | 氣壓降 | ˉ | ˉ | ˉ | <0.01 MPa |
7 | 工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 MPa |
8 | 溫度系數 | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ |
9 | 最大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
10 | 耐壓 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
11 | 工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
13 | 電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA
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14 | 重量 | 1.1 kg | 1.1 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
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