美國(guó)Entegris   在線氣體過(guò)濾器 華東

美國(guó)Entegris   在線氣體過(guò)濾器 華東

Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在線氣體過(guò)濾器，非常適合需要高顆粒去除效率且全不銹鋼結(jié)構(gòu)的高純度氣體系統(tǒng)。

全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)與大多數(shù)半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的化學(xué)相容性

專門的清潔和高溫烘烤可實(shí)現(xiàn)的初始清潔度，從而實(shí)現(xiàn)快速氣體啟動(dòng)

高流速/低壓降特性適用于低蒸氣壓氣體 高顆粒去除效率減少了晶圓上的缺陷，提高了產(chǎn)量

提供標(biāo)準(zhǔn)和加長(zhǎng) （XL） 長(zhǎng)度 Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用超純氣體管線  高溫應(yīng)用 動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用 惰性和反應(yīng)性氣體* 氣柜 燃?xì)獍?閥島箱 聯(lián)播 *不兼容 O3

產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯 316L 不銹鋼  外殼、端蓋 低硫 316L 不銹鋼 

初始下游清潔度 ≤0.03 個(gè)顆粒/升（≤1 個(gè)顆粒/英尺3） ≥ 0.01 μm   去除等級(jí) ≥0.0015 微米 

顆粒截留 在 30 slm （Mini） 和 60 slm （Mini XL） 下去除所有顆粒的去除率超過(guò) 99.9999% （6 LRV）;以具穿透力的粒徑為參考  內(nèi)飾表面光潔度 ≤5 μin Ra 

氦氣泄漏等級(jí) 合格 2 x 10-11帕米3/秒 （2 x 10-10  大氣壓 cc/sec） 

  測(cè)試 9 × 10-10帕米3/秒 （9 x 10-9大氣壓 cc/sec） 

最大條件 最大工作壓力： 16.2 MPa （162 bar， 2346 psig） @ 20°C （68°F） 

  最大正向/反向壓差： 3 MPa（30 巴，435 psid）@ RT 

  最高工作溫度： 惰性氣體：400°C （752°F） 

流量等級(jí) 查看性能數(shù)據(jù)