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玉崎科學儀器(深圳)有限公司
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EBABA荏原 EV-M805SF 高節能干式真空泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌EBARA/荏原

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2025-07-10 17:08:17瀏覽次數:77次

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泵軸位置 邊立式 極限壓力 0.45pa
輸送介質 油泵 葉輪數目 多級
應用領域 環保,化工,石油,地礦,制藥/生物制藥 最大工作壓強 1
EBABA荏原 EV-M805SF 高節能干式真空泵
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  • 荏原 (EBARA) 高溫技術支持高負荷工藝,在半導體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產生反應副產物。 由于其高節能性能,可以處理高負載過程并同時節省能源。 標配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據工藝條件的豐富產品陣容,可以處理各種高負荷工藝。

荏原(Ebara)的干式真空泵在多個行業都有廣泛應用,以下是一些主要的行業領域及應用場景:

1. 半導體與電子行業

  • 晶圓制造:用于化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕、離子注入等工藝,需高真空環境且避免油污污染晶圓。

  • 封裝測試:在芯片封裝過程中提供真空環境,確保封裝密封性。

2. 平板顯示行業

  • OLED/LCD 制造:用于沉積有機材料、濺射金屬電極等工藝,要求無油真空環境以保證顯示面板的純凈度。

3. 光伏行業

  • 太陽能電池生產:在 PECVD(等離子增強化學氣相沉積)、擴散爐等設備中提供真空,助力高效電池制造。

4. 化工與制藥行業

  • 蒸餾與干燥:用于溶劑回收、真空干燥等工藝,避免腐蝕性氣體對泵體的損害。

  • 原料藥生產:在真空環境下進行結晶、分離等操作,滿足醫藥行業的高潔凈要求。

5. 食品與飲料行業

  • 真空包裝:通過抽真空延長食品保質期,干式泵可避免油污污染食品。

  • 濃縮與凍干:在真空濃縮果汁、冷凍干燥藥品等工藝中發揮作用。

6. 科研與分析儀器

  • 質譜儀:提供高真空環境,確保離子在無干擾的情況下到達檢測器。

  • 電子顯微鏡:維持樣品室的高真空,保障成像質量。

7. 汽車與機械制造

  • 真空熱處理:在汽車零部件的淬火、退火等工藝中,防止氧化并提高材料性能。

  • 真空成型:用于塑料部件的真空吸塑成型。

8. 電力與能源行業

  • 變壓器真空浸漬:去除變壓器油中的水分和氣體,提高絕緣性能。

  • 核工業:在核反應堆的冷卻系統、氣體回收等環節提供真空支持。

9. 環境工程

  • 真空過濾:處理工業廢水、污泥脫水等,高效分離固液成分。

  • VOCs 回收:從工業廢氣中回收揮發性有機化合物,實現環保與資源再利用。

10. 其他領域

  • 航空航天:模擬高空環境測試、衛星組件檢漏等。

  • 鍍膜行業:光學鏡片、太陽能玻璃等的真空鍍膜工藝。


荏原干式真空泵的優勢在于無油污染、耐腐蝕、低維護成本,能適應復雜氣體環境(如含粉塵、腐蝕性成分),滿足各行業對真空度、穩定性和潔凈度的嚴格要求。具體選型時需根據工藝需求(如真空度范圍、抽氣速率、氣體特性)進行配置。









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