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Osaka大阪真空 振動(dòng)型渦輪分子泵 TG390ML
Osaka大阪真空 振動(dòng)型渦輪分子泵 TG390ML

地:日本

貨物所在地:四川成都市

更新時(shí)間:2025/6/20 16:10:40

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渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。


詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空 超低振動(dòng)型渦輪分子泵 TG390ML

Osaka Vacuum大阪真空 超低振動(dòng)型渦輪分子泵 TG390ML

渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速(通常300-600m/s)運(yùn)動(dòng),直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

軸承技術(shù)革新

磁懸浮軸承的普及應(yīng)用

混合陶瓷軸承優(yōu)化

自潤(rùn)滑軸承系統(tǒng)

材料與制造工藝

碳纖維復(fù)合材料轉(zhuǎn)子

3D打印葉輪技術(shù)

超精密加工工藝

智能化發(fā)展

物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程監(jiān)控

AI預(yù)測(cè)性維護(hù)

數(shù)字孿生技術(shù)應(yīng)用

性能提升方向

更高轉(zhuǎn)速設(shè)計(jì)(>90000rpm)

更寬的工作壓力范圍

提高輕質(zhì)氣體抽速

  • EUV 光刻設(shè)備等下一代半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • 高精度、高性能電子顯微鏡、分析設(shè)備、測(cè)量設(shè)備等.

半導(dǎo)體制造正在朝著 “小型化 " 和 “高集成度 "的方向發(fā)展。 同時(shí),分析、測(cè)量和檢查過(guò)程也要求“更準(zhǔn)確"和“更復(fù)雜"。 為了進(jìn)行微細(xì)加工和微觀區(qū)域的測(cè)量和分析,即使改進(jìn)了控制技術(shù),設(shè)備振動(dòng)也毫無(wú)意義。 因此,真空泵對(duì)減振的需求非常強(qiáng)烈。

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