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日立掃描電子顯微鏡SU1510

產(chǎn)品介紹：

采用精巧化設(shè)計(jì)，比同類設(shè)備分辨率和配置相同情況下，體積縮減20%，節(jié)約空間，標(biāo)配二次電子和背散射探測器，便于形貌和襯度的同時觀察，具有日立鎢燈絲電鏡通有的四偏壓、四孔光闌、高分辨背散射、長襯管等*設(shè)計(jì)。

主機(jī)寬度僅為55cm，體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

日立掃描電子顯微鏡SU1510主要特點(diǎn)：

1、儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。

2、標(biāo)配低真空功能，可以對不導(dǎo)電進(jìn)行無噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。

3、樣品臺可載入zui大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進(jìn)行EDX分析。

4、強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能，可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。

5、分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無污染。

技術(shù)參數(shù) ：

二次電子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射電子分辨率	4.0nm（低真空：60Pa，30kV）
倍率	5 ~ 300,000倍
加速電壓	0.3~30 kV
樣品臺	X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360°
樣平臺控制	手動（可選：2軸馬達(dá)）
zui大載入樣品尺寸	直徑：153mm
zui大觀察范圍	直徑：126mm（XYR并用）
zui大樣品高度	60mm (WD=15mm)
低真空范圍	6-270Pa（從菜單設(shè)定）
燈絲	預(yù)對中鎢燈絲
物鏡光闌	4孔可變光闌
槍偏壓	固定比例偏壓、手動偏壓、自動4偏壓
檢測器	二次電子檢測器，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析位置	WD=15mm,TOA=35°
真空系統(tǒng)	分子泵1臺，機(jī)械泵1臺
安全措施	停電，漏電，自動保護(hù)