物質中含量在百萬分之一以下的組合的分析方法。痕量一詞的含義隨著痕量分析技術的發展而有所變化。痕量分析包括測定痕量元素在試樣中的總濃度，和用探針技術測定痕量元素在試樣中或試樣表面的分布狀況。一般分成3個基本步驟：取樣、樣品預處理和測定。由于被測元素在樣品中含量很低、分布很不均勻，特別是環境樣品，往往隨時間、空間變化波動很大，要充分注意取樣的代表性和保證一定的樣品量。為了增強對痕量成分的檢出能力和除去基本干擾，痕量組分的分離與 富集 常常是*的，有兩種方案：一種是將主要組分從樣品中分離出來，讓痕量組分留在溶液中；另一種是將痕量組分分離出來而讓主要組分留在溶液中。為了提高分離、富集效果，通常應用掩蔽技術。樣品預處理的另一個目的是使痕量組分轉變為zui適宜于zui后測量的形式。常用的分離 、富集方法有揮發 、沉淀和共沉淀 、電解、液-液萃取、離子交換、色譜、萃取色譜、 電泳 等。在分離、富集過程中對于污染和痕量組分的損失要予以充分注意。

測定痕量組分的方法，取決于被分析的對象和測定方法的靈敏度、準確度、精密度和選擇性以及經濟上的合理性。在從經典的 比色法 和分光光度法到各種近代的儀器分析等痕量分析方法中，較常用的方法有：①光學方法。包括分光光度法、原子發射光譜法、原子吸收分光光度法、原子熒光光譜法、分子熒光和磷光法、化學發光法、激光增強電離光譜法等。②電化學方法。包括極譜分析法、庫侖分析法、電位法和計時電位法等。③X射線法。包括電子微探針法、X射線熒光光譜法等。④放射化學法。包括活化分析法、同位素稀釋法、放射性標記分析法等。⑤質譜法。包括二次離子質譜分析、火花源固體質譜。⑥色譜法。包括氣相色譜法、液相色譜法、離子色譜法等。