SENSIRION質(zhì)量流量控制器SFC5400性能參數(shù)
超快速氣體流量控制（穩(wěn)定時間＜100 ms）
超低流量測量時的高精度（＜ 1sccm）
出色的長期穩(wěn)定性和可靠性
無老化效應(yīng)
寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
多氣體配置
高配置
源于CMOSens技術(shù)的*性價比
數(shù)字和模擬接口
靈活機械連接選項：向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本

SENSIRION質(zhì)量流量控制器SFC5400應(yīng)用
分析儀器  （如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
醫(yī)療器械  （如呼吸機、麻醉機）
工業(yè)過程自動化  （如涂覆、熱處理）
半導(dǎo)體行業(yè)  （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）

SFC5400質(zhì)量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質(zhì)量流量計與質(zhì)量流量控制器具有相同性能特性，可用在類似應(yīng)用當(dāng)中，SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網(wǎng)站，您可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的更多信息和詳細(xì)規(guī)格。

評估套件 EK-F3x
快捷可靠地評估數(shù)字質(zhì)量流量計 SFM3000 和 SFM3200
可方便地與電腦進行連接
包含：U 盤，帶轉(zhuǎn)接線和傳感器線 (30 cm)
質(zhì)量流量計必須單獨訂購。
SFM3200-AW, SFM3300和SFM3400，SFM4100，SFM5400，SFC5400

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